Τα ειδικά αέρια αναφέρονται σε δυαδικά ή πολλαπλών{0}}μείγματα καθαρών αερίων, αερίων υψηλής-καθαρότητας ή αερίων βάσης υψηλής-καθαρότητας, που διαθέτουν συγκεκριμένες απαιτήσεις καθαρότητας, σύνθεσης ή απόδοσης και εφαρμόζονται σε συγκεκριμένα πεδία.
Ορισμός: Τα ειδικά αέρια έχουν αυστηρές απαιτήσεις για την καθαρότητα, την περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες, τη σταθερότητα και άλλους δείκτες. Συνήθως παρασκευάζονται μέσω ειδικών διεργασιών (όπως κρυογονική απόσταξη, προσρόφηση, διαχωρισμός μεμβράνης κ.λπ.) για να καλύψουν τις ανάγκες της κατασκευής ακριβείας ή της επιστημονικής έρευνας.
Ταξινόμηση: Ηλεκτρονικά αέρια: Χρησιμοποιούνται στις βιομηχανίες ημιαγωγών, οθόνης και σε άλλες ηλεκτρονικές βιομηχανίες, όπως σιλάνιο, αμμωνία υψηλής{0}καθαρότητας και εξαφθοριούχο θείο, που απαιτούν εξαιρετικά υψηλή καθαρότητα και μέγεθος σωματιδίων.
Αέρια υψηλής-καθαρότητας: Με καθαρότητα 99,999% ή μεγαλύτερη, όπως υδρογόνο υψηλής{{2}καθαρότητας και ήλιο υψηλής-καθαρότητας, που χρησιμοποιούνται σε εργαστηριακές αναλύσεις, τεχνολογία λέιζερ και άλλα πεδία.
Τυπικά αέρια: Αέρια αναμεμειγμένα σε συγκεκριμένες αναλογίες, που χρησιμοποιούνται για τη βαθμονόμηση οργάνων ή την περιβαλλοντική παρακολούθηση, όπως τυπικά μείγματα που περιέχουν μονοξείδιο του άνθρακα και διοξείδιο του θείου.