Το άζωτο υψηλής καθαρότητας-χρησιμοποιείται ως προστατευτικό και φέρον αέριο στην κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, ημιαγωγών και ηλεκτρονικών συσκευών κενού. χρησιμεύει ως φέρον αέριο στη χημική εναπόθεση ατμών. Μεταφέρει το αέριο σε πηγές διάχυσης υγρών. και λειτουργεί ως προστατευτικό αέριο για συσκευές σε κλιβάνους διάχυσης υψηλής θερμοκρασίας{{1}.
Το άζωτο υψηλής καθαρότητας-χρησιμοποιείται ως αέριο για μετατόπιση, ξήρανση, αποθήκευση και μεταφορά σε διαδικασίες όπως η επιταξία, η φωτολιθογραφία, ο καθαρισμός και η εξάτμιση. Στην κατασκευή καθοδικών σωλήνων απαιτείται καθαρότητα αζώτου 99,99% ή μεγαλύτερη. Στην αεροδιαστημική τεχνολογία, τα συστήματα ανεφοδιασμού με υγρό υδρογόνο πρέπει πρώτα να καθαρίζονται με άζωτο υψηλής-καθαρότητας και στη συνέχεια με ήλιο- υψηλής καθαρότητας.
Τον Δεκέμβριο του 2025, η Κρατική Διοίκηση για τον Κανονισμό Αγοράς ενέκρινε και κυκλοφόρησε το εθνικό πρότυπο υλικό για το άζωτο υψηλής{1}καθαρότητας, το οποίο χρησιμοποιείται σε βασικές διαδικασίες όπως ο καθαρισμός, η χάραξη και η εναπόθεση στην κατασκευή συσκευών ημιαγωγών, καθώς και σε διαδικασίες όπως η φωτολιθογραφία, η εμφύτευση ιόντων και η οξείδωση στην παραγωγή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων.